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| 模型 | 现象法属 |
现象XL |
PENOM PRO/PROX |
现象纯净 |
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| 电子源 | 现场排放枪（FEG） | CEB6水晶 | CEB6水晶 | CEB6水晶 |
| 光导航摄像头放大 | 20倍至135倍 | 3倍至16倍 | 20倍至135倍 | 20倍（固定） |
| 最大限度。SEM放大倍率 | 1,000,000 x | 200,000x | 350,000x | 175,000x |
| SEM分辨率 - BSD | 4 nm | 10 nm | 8 nm | 15 nm |
| SEM分辨率 - SED（可选） | 2.5 nm | 10 nm | 6 nm | 15 nm |
| 加速电压 | 2 - 15 kV | 4.8 - 20.5 kV | 4.8 - 20.5 kV | 5 kV和10 kV |
| 真空选项 | 高，中和低真空（可选软件） | 高，中和低真空（可选软件） | 高和低真空样品持有人 | 高和低真空样品持有人 |
| 探测器 | BSD SED（可选） EDS（可选） |
BSD SED（可选） EDS（可选） |
BSD SED（可选） EDS（可选） |
BSD SED（可选） EDS（可选） |
| 样品处理 | 单引脚存根 直径25毫米 |
最多36引脚存根 100毫米x 100毫米 |
单引脚存根 直径25毫米 |
单引脚存根 直径25毫米 |
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