轮廓术是一种从表面提取地形数据的技术。这可以是单点、线扫描，甚至是全三维扫描。轮廓术的目的是获得表面形貌、台阶高度和表面粗糙度。这可以通过使用物理探针或光来完成。
计量是测量科学。样品有多粗糙？功能有多高？这些区域有多少空隙或粒子？缺陷密度是什么？这些问题的答案通常使用profilemerry量化。
轮廓仪的工作原理
所有轮廓计的所有功能计包括至少两个部分 - 探测器和样本阶段。探测器是确定样品上点的点，样本阶段是持有样品的位置。在一些系统中，样品级移动以允许测量，在其他探测器移动和在一些移动中。
有两种类型的轮廓计：触控笔VS光。触控笔轮廓计使用探头来检测表面，沿着表面物理地移动探头以获取表面高度。这是用反馈回路机械地完成，反馈回路，当沿着表面扫描时，从样品中监测力的力。反馈系统用于将臂保持在其上的特定量扭矩，称为“设定值”。然后可以使用臂支架的Z位置的变化来重建表面。
轮廓仪
触控笔轮廓需要强制反馈并物理接触表面，虽然它非常敏感并提供高Z分辨率，但它对软面敏感，探头可以被表面污染。这种技术也可以破坏于某些表面。
因为触控笔轮廓仪涉及X，Y和Z的物理运动，同时保持与表面接触，它比非接触技术慢。触控笔尖端和形状可以影响测量并限制横向分辨率。
光学皮肤轮廓测量技术
光学轮廓测量法使用光而不是物理探针。这可以做出多种方式。该技术的关键部件是指示光的方式，即它可以检测到3D中的表面。示例包括使用共聚焦孔径，焦点和相位检测的光学干扰，并将图案投影到光学图像上。
