光学轮廓测量
轮廓术是一种从表面提取地形数据的技术。这可以是单点扫描，线扫描，甚至是全三维扫描。轮廓术的目的是得到表面形貌、台阶高度和表面粗糙度。这可以用物理探针或光来完成。
石英晶体微天平(QCM)
石英晶体微天平(QCM)是一种非常灵敏的质量天平，可以测量每单位面积的质量从纳克到微克水平的变化。这项技术的核心是一块石英光盘。石英是一种压电材料，通常通过金属电极施加适当的电压，可以使其以规定的频率振荡。振荡频率可以实时监测，以获得有关分子相互作用或电极表面发生反应的有用信息，如膜生长、氧化、腐蚀/衰变等。
阴极发光
利用阴极发光(CL)表征了纳米级的光学性质。阴极发光技术分析产生的光子，发射在紫外到近红外区域的电磁波谱。