白光干涉测量法的工作原理与激光干涉测量法很相似,只是使用了许多波长的光。这允许多个数据点从同一地区的样品,并为颜色数据提取的样品。
在白光干涉术中,分析单个波长的衍射图样很像激光干涉仪,但要与许多其他波长相结合以增加灵敏度。
彩色相机可以自动将光分解成红、蓝、绿三色信号,这极大地支持了这项技术。然而,涉及的光学比标准激光干涉仪复杂得多,软件重建也很复杂。
激光干涉测量可以看作是仅仅使用白光干涉图中光谱的红色部分。通过加入光的其他频率,更多的信息是可用的,可以利用现代计算。
这种方法确实需要强大的计算能力和各种计算模型,这可能会导致对表面几何形状/不透明度和建模工件的约束。