电子源是SEM最重要的组成部分之一，是其最大性能的主要决定因素。在扫描电子显微镜中发现了三个常见的电子源。
钨丝
钨发夹是第一代电子显微镜的原始来源。它仍然是当今使用的最常见来源，尤其是在低成本SEM中。钨源相对便宜，并且设计为在SEM的常规使用过程中快速而轻松地更换。
While they are the lowest cost option, tungsten emitters also provide the least performance compared to the other electron sources. The theoretical resolution of tungsten hairpins is worse than LaB6由于发夹的发射面积明显较大，晶体或FEG。新手用户也很难使用钨来源。它们必须在白热温度（约2800K）下运行，但在样品交换过程中暴露于环境条件。这种热循环引起了两个问题：它会导致光束污名的持续漂移，必须由用户手动校正。它导致钨源在操作过程中突然烧毁，因此必须关闭系统，更换源，重新对准新的，然后重新启动先前的分析。
实验室6/ CEB6水晶
这些来源利用了高度抛光的灯笼六边形或十六起核苷的晶体。晶体产生的电子比钨丝多约10倍。这些晶体源比钨丝明显更稳定，并且始终保持温暖和真空，因此它们需要更少的调整，并且持续更长的时间。晶体源仅需要每隔几个月的污名调整，而不是基于钨和FEG的SEMS常见的连续聚焦粘液焦点调整。
尽管两种材料都提供了相似的结果，但较新的CEB6近年来，由于它们对污垢的抵抗力更好，因此寿命更长，消息来源变得越来越普遍。多亏了所有这些属性，由CEB提供支持的系统6来源往往是非专家用户最容易使用的。
现场排放枪
现场发射枪（FEG）是最强大的来源，并且在实验室中发现了野外发射SEMS（FE-SEMS），这些实验室需要最高的性能和最佳分辨率。
现场发射枪提供了出色的分辨率，可以看到较小的功能，更高的亮度，以获得更高的对比度的清晰图像，并且在低加速电压下的性能更好，以减少成像伪像。
高性能是有代价的。Fe-Sems通常是初次购买和维护/保养成本的最昂贵的工具。这是由于FEG本身的高成本以及来源在超高真空条件下运行的要求所产生的成本增加。
大多数现场排放系统都是全尺寸SEMS，但是有一些由FEG来源供电的自动SEMS，甚至还有一个桌面FE-SEMS -现象法属。
近似源规范
| 规格//源类型 | 钨发夹 | 实验室6/ CEB6Crystal | Schottky Field Emission Gun |
|---|---|---|---|
| 亮度（a/cm2-sr） | 106 | 107 | 5 x 108 |
| 分辨率 @ 30 kV | 3 nm | 2 nm | 1 nm |
| 分辨率 @ 1 kV | 50 nm | 25 nm | 5 nm |
| 能量传播 | 3 ev | 1 eV | 0.3 ev |
| Vacuum (mBar) | 10-1– 10-5 | 10-7 | 10-9 |
| 工作温度（K） | 2,800 | 1,800 | 1,800 |
| 一生（小时） | 100 | 1,500 | 10,000 (always on) |
| Cost per source | $ 100 | $3,000 | $ 15,000 |
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